多晶硅還原電極的還原法生產工藝
發布時間：2022-7-21 14:57:55 來源:http://www.certipub.com/ 作者: 鎮江市旺盛合金材料有限公司
多晶硅還原電極還原法，生產過程中工藝氣體被硅芯電極加熱至110(TC左右，使三氯氫硅(SiHCl3)與氫氣(H2)反應生成多晶硅并沉積在硅芯電極表面，形成硅棒。硅芯電極的工作電壓在15,000V左右，在如此高溫高壓的條件下，對硅芯電極的要求非常高。目前采用的硅芯電極主要包括電極體、加熱石墨頭硅芯、電極座，其中電極座與電極體之間用絕緣套簡進行絕緣，絕緣套簡的成分為聚四氟乙烯。由于還原爐內溫度非常高，雖然通過設備底盤對電極座進行冷卻，但聚四氟乙烯絕緣體所處環境的溫度仍然很高，在長時間運行后容易失效，造成電極座與電極體之間擊穿，導致生產事故。
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